SF6電氣設(shè)備本身（氣體質(zhì)量和硬部件制造質(zhì)量）是合格的，那么，運行的安全可靠性，在很大程度上將取決于安裝和調(diào)試質(zhì)量，以及怎樣對SF6絕緣性能進行合理的監(jiān)督。SF6氣體到貨后，通過質(zhì)量檢驗可以保證貨源質(zhì)量水分含量不超過規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)。但罐氣后，如果設(shè)備組裝條件不夠完善，則機器壁上附著的水分，設(shè)備的固體絕緣及澆注物中間的水分，以及由于密封效果、填料不同透過的水分，經(jīng)過一段時間運行后，它們可能釋放出來，使得SF6設(shè)備的含水量出現(xiàn)變化。因此，針對實際情況，必須對SF6設(shè)備中氣體的質(zhì)量進行監(jiān)測。依照《安規(guī)》第194條的具體規(guī)定，SF6氣體的三個檢驗周期時間是：

（1）灌裝后至投運前的一次總體檢驗，重點檢驗空氣、水分和雜質(zhì)含量。

（2）運行后以三個月為周期的含水量檢驗，一般應(yīng)連續(xù)進行三次周期性檢驗。

（3）經(jīng)過檢驗證明，SF6氣體無變化，運行已經(jīng)穩(wěn)定之后，則應(yīng)轉(zhuǎn)為以年為周期的含水量檢測。當(dāng)檢驗出氣體成份有明顯變化時，往往是質(zhì)量和運行問題的反應(yīng)，應(yīng)按規(guī)定進行報告，必要時請專家診斷、鑒定或進行有關(guān)質(zhì)量復(fù)核。